1. Репозиторий ФГБУ ВО «Луганский государственный педагогический университет» (Repository of Lugansk State Pedagogical University)
  2. Институт физико-математического образования, информационных и обслуживающих технологий
  3. Статьи
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://dspace.lgpu.org//handle/123456789/7032
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorТехтелев, Ю.В.-
dc.contributor.authorЧерняков, В.Е.-
dc.date.accessioned2025-05-06T07:53:51Z-
dc.date.available2025-05-06T07:53:51Z-
dc.date.issued2022-11-15-
dc.identifier.urihttps://dspace.lgpu.org//handle/123456789/7032-
dc.description.abstractВ статье рассматриваются методы обработки результатов эллипсометрических измерений для исследований тонкослойных поглощающих и прозрачных покрытий различной структуры Предложен модифицированный метод Малена-Ведама для определения оптических параметров поглощаю- щих пленок. Для прозрачные пленок на прозрачные подложках предлагаются оптимизационные методы, основанные на минимизации целевой функции.ru
dc.language.isootherru
dc.subjectэллипсометрияru
dc.subjectобратная задачаru
dc.subjectфазаru
dc.subjectкоэффициент пропусканияru
dc.titleМетоды решения обратной задачи эллипсометрии. - 2022ru
dc.typeArticleru
Располагается в коллекциях:Статьи

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
2986-25_s.pdf2,56 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.