Эллипсометрия пленки Sr0,5 Ba0,5 Nb2O6 на кристаллической подложке MgO (110)

Техтелев, Ю.В.; Чижов, Р.Г.; Жидель, К.М.; Кара-Мурза, С.В.; Павленко, А.В.; Сильчева, А.Г.

Главная))0)
→
Институт физико-математического образования, информационных и обслуживающих технологий
→
Статьи
→
Просмотр элемента

Эллипсометрия пленки Sr0,5 Ba0,5 Nb2O6 на кристаллической подложке MgO (110)

Техтелев, Ю.В.; Чижов, Р.Г.; Жидель, К.М.; Кара-Мурза, С.В.; Павленко, А.В.; Сильчева, А.Г.

URI: https://dspace.lgpu.org//handle/123456789/6964

Дата: 2022-11-15

Аннотации:

Эллипсометрическим методом исследована пленка Sr0,5Ba0,5Nb2O6 (SBN-50) на монокристаллической подложке MgO(110). При использовании модели, учитывающей анизотропию пленки определены коэффициенты преломления n0 и ne , базовая толщина пленки, толщина поверхностного слоя и коэффициент объемного заполнения поверхностного слоя материалом пленки. Рассмотрены условия применимости изотропной модели пленки для интерпретации результатов измерений.

Показать полную информацию