Методы решения обратной задачи эллипсометрии. - 2022

dc.contributor.author	Техтелев, Ю.В.
dc.contributor.author	Черняков, В.Е.
dc.date.accessioned	2025-05-06T07:53:51Z
dc.date.available	2025-05-06T07:53:51Z
dc.date.issued	2022-11-15
dc.identifier.uri	https://dspace.lgpu.org//handle/123456789/7032
dc.description.abstract	В статье рассматриваются методы обработки результатов эллипсометрических измерений для исследований тонкослойных поглощающих и прозрачных покрытий различной структуры Предложен модифицированный метод Малена-Ведама для определения оптических параметров поглощаю- щих пленок. Для прозрачные пленок на прозрачные подложках предлагаются оптимизационные методы, основанные на минимизации целевой функции.	ru
dc.language.iso	other	ru
dc.subject	эллипсометрия	ru
dc.subject	обратная задача	ru
dc.subject	фаза	ru
dc.subject	коэффициент пропускания	ru
dc.title	Методы решения обратной задачи эллипсометрии. - 2022	ru
dc.type	Article	ru