В статье рассматриваются методы обработки результатов эллипсометрических измерений для исследований тонкослойных поглощающих и прозрачных покрытий различной структуры Предложен модифицированный метод Малена-Ведама для определения оптических параметров поглощаю- щих пленок. Для прозрачные пленок на прозрачные подложках предлагаются оптимизационные методы, основанные на минимизации целевой функции.
