Репозиторий Научной библиотеки
Это институциональный архив открытого доступа, который обеспечивает накопление, систематизацию, хранение в электронной форме интеллектуальных продуктов научного, образовательного, методического назначения, созданных сотрудниками университета
НАУЧНАЯ БИБЛИОТЕКА ГОУ ВО ЛНР «ЛГПУ»
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://dspace.lgpu.org//handle/123456789/7032| Название: | Методы решения обратной задачи эллипсометрии. - 2022 |
| Авторы: | Техтелев, Ю.В. Черняков, В.Е. |
| Ключевые слова: | эллипсометрия обратная задача фаза коэффициент пропускания |
| Дата публикации: | 15-ноя-2022 |
| Краткий осмотр (реферат): | В статье рассматриваются методы обработки результатов эллипсометрических измерений для исследований тонкослойных поглощающих и прозрачных покрытий различной структуры Предложен модифицированный метод Малена-Ведама для определения оптических параметров поглощаю- щих пленок. Для прозрачные пленок на прозрачные подложках предлагаются оптимизационные методы, основанные на минимизации целевой функции. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://dspace.lgpu.org//handle/123456789/7032 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 2986-25_s.pdf | 2,56 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.